對于一些特殊要求零件的加工，可以在現有成熟的超精密元部件如超精密主軸、高精度導軌等基礎上，并利用模塊化技術，研制一些特種超精密加工設備，這樣既能縮短研制周期，又能降低研制成本。
 

　　目前狀況下，表面粗糙度儀可以在一定程度上測量加工件的粗糙度，使其符合加工要求。
 

　　由于超精密加工技術的研究需要潔凈的環境、嚴格的溫度控制、昂貴的加工設備及檢測設備，這一切都需要高投入，這在一定程度上限制了其研究和應用。
 

　　可以通過各種途徑，例如應用模塊化技術降低超精密加工設備研制成本，采用局部小環境控制技術降低對整體環境的控制成本等。在此基礎上，可以將先進的超精密加工技術應用于某些民用行業，取得較好的經濟效益。
 

　　但是加工微機械零件不一定非要用微型加工機床，加工儀表零件機床的特點并不是其體積有多小，而是與普通機床相比精度較高。
 

　　所以微機械零件的機械加工設備的最關鍵指標是機床的精度，況且一味地追求減小機床體積只能加大成本。超精密加工技術由于其加工精度高、切削力小等特點，特別適合進行微機械零件的加工，這也將為微機械零件的加工開辟了一條新的途徑。
 

　　超精密加工技術的最大的需求是先進的裝備系統，軍事需求直接推動著超精密加工技術的發展。粗糙度測量儀不能夠*適應需要，針對我國目前超精密加工技術領域的發展狀況，應根據國情加大對超精密加工工藝以及特種超精密加工設備的研究，并力圖降低超精密加工技術的成本，拓寬超精密加工技術的應用領域。